化学沉镍制程重点
a. 碱性脱脂:
为防止钯沉积时向横向扩散,初期使用柠檬酸系清洁剂。后因绿漆有疏水性,且碱性清洁剂效果又较佳,同时为防止酸性清洁剂可能造成铜面钝化,故采磷酸盐系直炼非离子性清洁剂,以容易清洗为诉求。
b. 微蚀:
其目在去除氧化获得新鲜铜面,同时达到粗度约0.5-1.0μm之铜面,使得镀镍金后仍能获得相当粗度,模具表面处理,此结果有助打线时之拉力。配槽以sps 150g/l加少量---,以保持氯 离子约2ooppm 为原则,以提高蚀刻效率。
化学镍金工艺配方特性分析:
a. ph值影响:ph低于8会有混浊现像发生,ph高于10会有分解发生,对磷含量及沉 积速率及磷含量并无明显影响。
b.温度影响:温度影响析出速率很大,低于70°c反应缓慢,高于95°c速率快而无法控制.90°c蕞佳。
c.组成浓度中柠檬酸钠含量高,螯合剂浓度提高,沉积速率随之下降,磷含量则随螯合 剂浓度增加而升高,三---氨系统磷含量甚至可高到15.5%上下。
d.还原剂---二氢钠浓度增加沉积速率随之增加,但超过0.37m后槽液有分解现像, 因此其浓度不可过高,过高反而有害。磷含量则和还原剂间没有明确关系,因此一般 浓度控制在o.1m左右较洽当。
e.三---氨浓度会影响镀层磷含量及沉积速率,其浓度增髙磷含量降低沉积也变慢, 因此浓度保持约0.15m较佳。他除了可以调整酸碱度也可作金属螯合剂之用
f.由探讨得知柠檬酸钠浓度作通当调整可有效改变镀层磷含量
无电镍:操作温度85±5℃ ,ph4.5~4.8,镍浓度约为4.9~5.1 g/l间,槽中应保持镍浓度低于5.5 ,否则有氢氧化沉淀可能,若低于4.5g/l则镀速会减慢,正常析出应以15μm/hr,bath loading则应保持约0.5~1.5)dm2/l,镀液以5 g/l为标准镍量经过5个turn即必须更槽否则析出镍会变差。镍槽可以316不锈钢制作,表面处理价格,槽体事先以50%钝化,并以槽壁 外加电解阳极以防止镍沉积,阴极可接于搅拌叶通以0.2~0.4 a/m2(0.018~0.037 asf)低 电流,但须注意不能在桨叶区产生气泡否则代表电流太强或镍镀层太厚必须烧槽。建浴操 作应维持在ph=5~4.7间,电镀表面处理,可用naoh或h2s04调整,ph低于4.8会出现混浊,宣城表面处理,槽液老化ph 操作范围也会逐渐提高才能维持正常析出速度。因线路底部为死角,易留置反应后所留残碱,因此对绿漆可能产生不利影响,必须以加强搅拌及震动使残碱及气泡去除。
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